更新時(shí)間:2024-08-26
Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器/EL-FLOWBronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器為全金屬密封結(jié)構(gòu),具有高性能、高質(zhì)量的特點(diǎn),適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運(yùn)用場(chǎng)合。
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Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器/EL-FLOW
Bronkhorst是一家專(zhuān)注于小流量流體技術(shù)的公司,?提供熱式、?科里奧利和超聲波流量計(jì)和控制器產(chǎn)品系列,?廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、?工業(yè)和危險(xiǎn)區(qū)域等多種應(yīng)用場(chǎng)景。?該公司致力于為客戶(hù)提供種類(lèi)齊全、?量程寬泛的產(chǎn)品,?同時(shí)也提供定制化的解決方案,?以滿(mǎn)足不同客戶(hù)的需求。?此外,?Bronkhorst還專(zhuān)注于氣體、?液體和蒸汽流量測(cè)控,?提供多功能、?預(yù)測(cè)試的模塊,?以及創(chuàng)新的蒸汽輸送系統(tǒng),?確保了其在流體測(cè)量和控制領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)性和技術(shù)地位
高純度氣體應(yīng)用
Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器為全金屬密封結(jié)構(gòu),具有高性能、高質(zhì)量的特點(diǎn),適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運(yùn)用場(chǎng)合。質(zhì)量流量計(jì)和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR 連接。
· 最小流量范圍:0.12…6 mln/min
· 最大流量范圍: 1… 50 ln/min
EL-FLOW® 產(chǎn)品具有多氣體/多范圍功能,為客戶(hù)(OEM)提供可選的靈活性以及高效率工藝。為方便客戶(hù)使用,Bronkhorst提供免費(fèi)且便于操作的配置軟件。
特點(diǎn)
· 高準(zhǔn)確度 (標(biāo)準(zhǔn) 0.5% Rd + 0.1% FS)
· 可進(jìn)行重復(fù)密封的全金屬外部密封結(jié)構(gòu)(無(wú)密封圈)
· 電拋光過(guò)流部件
· 無(wú)塵組裝
· 多介質(zhì)/多范圍可調(diào)節(jié)功能
· 模擬通訊和數(shù)字I/O, 可與如下任意集成接口連接:
DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS
· 無(wú)零飄(不需要零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整電路)
· 高精度、重復(fù)性高
Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器/EL-FLOW
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